近藤教授(工学部)が国際会議ADMETA2009で技術開発賞を受賞

成果概要

2009年10月21日

近藤 英一教授(工学部機械システム工学科)が、Advanced Metallization Conference Asian SessionのTechnical Achievement Award(技術開発賞)を受賞し、10月19日から10月21日に東京大学で開催された、集積回路の最先端配線技術に関する国際会議ADMETA2009において授賞式が行われました。

受賞論文は、大学院生 有賀 庄作さん(修士課程機械システム工学専攻平成21年度修了)との連名で発表した「A fast new approach for evaluating the connectivity of micropores (<2 nm) and supermicropores (<0.5 nm) in low-k thin films(低誘電率薄膜中のミクロ細孔とスーパーミクロ細孔の連結度の新規迅速評価法)」です。
これは、集積回路材料の構造の評価に関するもので、超臨界流体という物質の特殊な状態を利用して、加速器などの大型設備にかわる新しい簡単・迅速な方法を提案するもので、新規性、学術・技術的価値、プレゼンテーションが高く評価されての受賞となりました。
なお、同賞は、優れた技術論文発表に対して与えられるもので、今回、57件の一般講演があり、そのうち3件が受賞しています。

近藤教授は、「研究開発が熾烈で資金力も必要な分野ですが、地方大学でも世界レベルの研究ができることを示せたと思います。大変うれしいです。」と話しています。

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