近藤教授（工学部）が国際会議ADMETA2009で技術開発賞を受賞
成果概要
2009年10月21日
近藤 英一教授（工学部機械システム工学科）が、Advanced Metallization Conference Asian SessionのTechnical Achievement Award（技術開発賞）を受賞し、１０月１９日から１０月２１日に東京大学で開催された、集積回路の最先端配線技術に関する国際会議ADMETA2009において授賞式が行われました。
受賞論文は、大学院生 有賀 庄作さん（修士課程機械システム工学専攻平成２１年度修了）との連名で発表した「A fast new approach for evaluating the connectivity of micropores (<2 nm) and supermicropores (<0.5 nm) in low-k thin films（低誘電率薄膜中のミクロ細孔とスーパーミクロ細孔の連結度の新規迅速評価法）」です。
これは、集積回路材料の構造の評価に関するもので、超臨界流体という物質の特殊な状態を利用して、加速器などの大型設備にかわる新しい簡単・迅速な方法を提案するもので、新規性、学術・技術的価値、プレゼンテーションが高く評価されての受賞となりました。
なお、同賞は、優れた技術論文発表に対して与えられるもので、今回、５７件の一般講演があり、そのうち３件が受賞しています。
近藤教授は、「研究開発が熾烈で資金力も必要な分野ですが、地方大学でも世界レベルの研究ができることを示せたと思います。大変うれしいです。」と話しています。