萩原教授、清水准教授らが砥粒加工学会論文賞を受賞

成果概要

2016年03月17日

左から ユザイリさん,久慈照信氏,萩原親作教授,清水毅准教授

 萩原親作教授(工学部機械工学科)を代表, 久慈照信氏(株式会社アポロエンジニアリング), 清水毅准教授(工学部情報メカトロニクス工学科), Yuzairi Abdul Rahim (博士後期課程在学中), 篠塚郷貴技術職員(工学部附属ものづくり教育実践センター)を共同研究者とするグループが, 平成27年度砥粒加工学会論文賞を受賞 しました.

 本賞は,(公社)砥粒加工学会誌の過去1年間に掲載された論文を対象とし, 内容が特に優秀と認められるものに対して,贈賞される最優秀論文賞です.

 受賞論文題目は,「天然資源を活用した炭砥石の開発 第1報:シリコンウエハの研磨」です. 天然資源である炭をミクロンサイズまで破砕することで鋭利な粒子形状が得られることに着目し, 結合材として天然資源であるゼラチンを混ぜた炭砥石を開発したこと, さらに開発した炭砥石で半導体シリコンウエハのナノレベル鏡面研磨に成功したことが評価されたものです.

 萩原教授は,「最高の名誉ある章を頂き感謝しております.5年間研究し漸く実用レベルに到達することができました. 現在は身延の竹炭を最良の研磨材として活用しております.既に数社から研磨依頼が来ております.更なる成果を目指します.」と述べています.

 

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